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1、真空機組的構(gòu)成與分類

真空機組一般由下列元件構(gòu)成：各種真空泵；真空測量裝置；真空閥門；真空管道和一些其它元件，例如撲集器、真空接頭、儲氣罐、波紋管、除塵器和真空繼電器等。

按機組的工作壓力分，有粗真空機組(>1330Pa)；低真空機組(1330~0.13Pa)；高真空機組(0.13~1.3×10-6 Pa)；超高真空機組(1.3×10-6~1.3×10-11 Pa)；極高真空機組(<1.2×10-11 Pa)。

2、低真空機組

低真空機組的主要特點是工作壓力高，排氣量大，但抽速比高真空機組低。多用于真空室的粗抽以及放氣量很大，工作壓力較高的真空輸送、真空浸漬、真空過慮、真空脫氣、真空干燥等裝置中。低真空機組的主泵常用往復(fù)式真空泵、油封真空泵、水噴射泵、水蒸汽噴射泵、水環(huán)泵、油蒸汽噴射泵、分子篩吸附泵和羅茨泵等。使用低真空機組，還需要根據(jù)被抽氣體的清潔程度、濕度等工藝要求，配置除塵器、干燥過慮器等元件。

3、高真空機組

①選好主泵，主泵有擴散泵、分子泵、濺射離子泵、鈦泵、低溫泵等。

②選好預(yù)抽泵、儲氣管(防震、縮短工作周期、防止真空室內(nèi)瞬間大量放氣、穩(wěn)定擴散泵出口壓力)

4、超高真空機組

主泵極限真空度要高、漏氣率要低、耐200~450℃烘烤。

①擴散泵機組：降低返流、控制污染;

②分子泵機組：對氫壓縮比小，殘余氣體主要是氫;

③濺射離子泵機組：通常與鈦泵聯(lián)合使用;

④低溫泵機組：無污染。